目前纖維球濾料反沖洗理想的辦法是采用氣、氣水、水的三段式氣水反沖洗技術。不同類型的濾池具有不同的反沖強度與反沖時間，對于快濾池反沖強度為36~54m/h,反沖洗時間為5~10min,濾層膨脹率達40%-50%.另外，在采用離子交換法處理水或廢水時，以及樹脂再生操作前也需先進行反沖洗，其目的在于松動樹脂層和去除樹脂層中的雜質、破碎顆粒等。
在濾池充水并在濾床層面上保有一定水深條件下先進行單獨氣沖，一方面通過改性纖維球濾料顆粒間相互摩擦使改性纖維球濾料上粘附的污泥脫落，一方面達到使濾層攪動為均質的目的。經過一段時間的氣沖后，不停氣且氣沖強度無須改變的同時加入水沖，水沖強度很小，只要能使脫落的污泥在合宜的時間內升至排水槽即可。
氣水聯合反沖是能否使濾層潔凈的關鍵。單獨氣沖時脫落的污泥在此階段因氣沖保持濾層流化狀態下加上水沖被有效地托至上層。第三階段停止氣沖，改性纖維球濾料回落為固定床，使脫落的污泥滯留在上層，隨后的水沖只是漂洗過程，主要是將上層的高濃度泥水托出濾池。
同時進一步清除濾層中剩余的脫落污泥，使濾層達到較徹底的凈化。的水沖洗應遵循二條原則，一是不使均質濾層狀態受到破壞，二是按沖洗要求要能夠使濾層中剩余的脫落污泥被有效地去除。纖維球濾料反沖洗方式有兩，單水反沖洗和氣、水聯合反沖洗。